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1800度低温烧结炉

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单向退火炉

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单向退火炉

  • 具体先容

单向退火炉

退火目标是甚么?在低温(1750℃)加热状况下,经由过程低温促使晶体晶格打乱后从头摆列,同时断根一些晶格外部缺点,从而开释外部应力,为后续加工奠基杰出的根本。晶体退火恒温时辰为36小时;每炉次退火时辰为5天摆布。退火后的晶棒在切割实现后,晶片翘曲低于1丝,线小于2毫米、内应力、崩边景象及线痕度获得很大的晋升;加工后的晶片成品率也到达了95%以上。成品率进步了,本钱又降落了良多,同时耽误了晶棒的切割线的利用寿命。


单向退火炉



首要手艺参数

型号

LGYL-1800

单向退火炉

LGYL-1800

双向退火炉

LGYL-1650

单向退火炉

LGYL-1650

双向退火炉

有用任务区尺寸(mm)

860*340*300

860*340*300

860*420*450

860*420*450

额外功率

57KVA

57KVA

57KVA

57KVA

每炉装载量

4寸晶棒约5800mm

4寸晶棒约5800mm

4寸晶片约9000mm

4寸晶片约9000mm

额外温度

1750℃

1750℃

1600℃

1600℃

保温资料

氧化锆纤维

氧化锆纤维

氧化铝纤维

氧化铝纤维

挪动轨道路程速度

1040.4mm/分

1040.4mm/分

1040.4mm/分

1040.4mm/分

起落平台路程速度

92.8mm/分

92.8mm/分

92.8mm/分

92.8mm/分

操控体例

手动与主动

手动与主动

手动与主动

手动与主动

任务电压

电炉加热380V

仪表任务220V

电炉加热380V

仪表任务220V

电炉加热380V

仪表任务220V

电炉加热380V

仪表任务220V

运转机构

丝杆、轨道、电动运转

丝杆、轨道、电动运转

丝杆、轨道、电动运转

丝杆、轨道、电动运转

加热元件

1900型硅钼棒(U型)

1900型硅钼棒(U型)

1800型硅钼棒(U型)

1800型硅钼棒(U型)

节制精度

≤±0.5℃

≤±0.5℃

≤±0.5℃

≤±0.5℃

控温体例

100段PID智能法式控温,可编法式节制器(PLC)节制+触摸屏+工控机


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关头词:单向退火炉,1800退火炉

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